本发明公开了一种绝缘气体处理装置及其控制方法，涉及绝缘气体处理技术领域，用于解决现有的绝缘气体处理装置在充气时，液态绝缘气体很容易进入到电气设备的绝缘气室内的问题而发明。该绝缘气体处理装置，包括第一接头、第二接头以及第一充气支路，沿从上游到下游的方向第一充气支路上依次设有第一控制阀和导热中空件，导热中空件具有均与导热中空件的中空部分相连通的第一开口和第二开口，第一开口与第一控制阀相连接，第二开口与第二接头相连接；绝缘气体处理装置还包括加热装置，加热装置包括加热件和具有空腔的本体，空腔内设有导热介质，加热件用于对导热介质加热，导热中空件浸在导热介质中。本发明可用于SF6等绝缘气体的充气等处理。