发明授权
- 专利标题: 柔性压力传感器及其制备方法
-
申请号: CN201711333643.8申请日: 2017-12-14
-
公开(公告)号: CN108195491B公开(公告)日: 2020-05-08
- 发明人: 孙蓉 , 熊耀旭 , 胡友根 , 朱朋莉 , 赵涛 , 张馨予
- 申请人: 中国科学院深圳先进技术研究院
- 申请人地址: 广东省深圳市南山区西丽深圳大学城学苑大道1068号
- 专利权人: 中国科学院深圳先进技术研究院
- 当前专利权人: 中国科学院深圳先进技术研究院
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市南山区西丽深圳大学城学苑大道1068号
- 代理机构: 深圳中一联合知识产权代理有限公司
- 代理商 李艳丽
- 主分类号: G01L1/16
- IPC分类号: G01L1/16
摘要:
本发明属于传感器技术领域,具体涉及一种柔性压力传感器及其制备方法。该柔性压力传感器,包括依次层叠设置的第一柔性基底、第一柔性导电层、第二柔性导电层和第二柔性基底,所述第一柔性导电层包括周期性排列的第一凸起阵列,所述第二柔性导电层包括周期性排列的第二凸起阵列,且所述第一凸起阵列和所述第二凸起阵列相邻设置;所述第一柔性导电层和所述第二柔性导电层均含有导电复合材料。该柔性压力传感器具有高灵敏度、快速的响应时间和良好的稳定性的特点。
公开/授权文献
- CN108195491A 柔性压力传感器及其制备方法 公开/授权日:2018-06-22