瞬态电压抑制器及其制造方法
Abstract:
本发明公开了瞬态电压抑制器及其制造方法,瞬态电压抑制器包括:半导体衬底;外延层,设置于半导体衬底的第一表面之上;第一埋层和第二埋层,第一埋层的第一部分与第二埋层形成第一瞬态电压抑制管,第一埋层的第二部分与半导体衬底形成第二瞬态电压抑制管,第一埋层的第一部分和第二部分不互连;多个隔离区,分别从外延层表面延伸至第一埋层或第二埋层内;多个阱区,从外延层表面延伸至外延层内,其中,第一埋层的第一部分与半导体衬底形成PN结,且第一埋层的第一部分与半导体衬底电相连以使PN结被短路。本发明提供的瞬态电压抑制器具有双向瞬态电压抑制功能,电容低、体积小、制成简单,且能够从正反两面分别引出电极。
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