- 专利标题： 蚀刻液组合物及使用它的薄膜晶体管显示面板的制造方法
- 专利标题（英）： Etchant composition and method of manufacturing thin film transistor array panel using the same
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申请号： CN201711373532.X申请日： 2017-12-19
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公开(公告)号： CN108203827A公开(公告)日： 2018-06-26
- 发明人: 金俸均 , 郑在祐 , 朴弘植 , 金奎佈 , 申贤哲 , 李相赫
- 申请人： 三星显示有限公司 , 株式会社东进世美肯
- 申请人地址： 韩国京畿道;
- 专利权人： 三星显示有限公司,株式会社东进世美肯
- 当前专利权人： 三星显示有限公司,株式会社东进世美肯
- 当前专利权人地址： 韩国京畿道;
- 代理机构： 北京德琦知识产权代理有限公司
- 代理商 朴圣洁; 王珍仙
- 优先权： 10-2016-0173549 20161219 KR
- 主分类号： C23F1/18
- IPC分类号： C23F1/18 ; H01L21/3213 ; H01L21/28 ; H01L29/423
摘要：
本发明涉及一种蚀刻液组合物及使用它的薄膜晶体管显示面板的制造方法。一实施例所涉及的蚀刻液组合物包含8重量％至20重量％的过硫酸盐、0.1重量％至10重量％的磷酸或亚磷酸、0.1重量％至5重量％的磷酸盐化合物、0.1重量％至6重量％的单氮类环状化合物、0.1重量％至5重量％的磺酸类化合物、0.1重量％至2重量％的唑类化合物及余量的水，所述唑类化合物与所述单氮类环状化合物的含量比为1:1至1:2。
公开/授权文献
- CN108203827B 蚀刻液组合物及使用它的薄膜晶体管显示面板的制造方法 公开/授权日：2021-12-24
IPC分类:
