一种自带参考气室的光电探测器及其制备方法
摘要:
本发明设计了一种自带参考气室的光电探测器及其制备方法,将TO‑can光电探测器的TO管座与光学元件焊封;TO管座与光学元件之间的空间组成参考气室,判断TO管座与光学元件之间是否焊接严密,如果焊接不严密,则将焊接后的将TO‑can光电探测器和光学元件放入被测气体环境中,被测气体在高压下通过焊缝充入参考气室内;利用紫外光胶将焊缝密封;在紫外光胶凝固后,再焊缝处涂上两层防潮胶;如果焊接严密,则在光学元件的侧壁打孔,然后用针管将被测气体注入参考气室内;然后利用紫外光胶将孔密封,当紫外光胶凝固后,再涂上两层防潮胶。本发明是光学光谱吸收气体传感器的关键器件,它的集成和稳定对保证测量精度起重要的作用。
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