发明授权
- 专利标题: 一种自带参考气室的光电探测器及其制备方法
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申请号: CN201810036930.0申请日: 2018-01-15
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公开(公告)号: CN108258061B公开(公告)日: 2019-09-17
- 发明人: 刘统玉 , 宁雅农 , 孟辉 , 宋成祥 , 金光贤 , 李艳芳 , 魏玉宾 , 王寅 , 王兆伟
- 申请人: 山东微感光电子有限公司
- 申请人地址: 山东省济南市高新区齐鲁软件大厦1118室
- 专利权人: 山东微感光电子有限公司
- 当前专利权人: 山东微感光电子有限公司
- 当前专利权人地址: 山东省济南市高新区齐鲁软件大厦1118室
- 代理机构: 济南圣达知识产权代理有限公司
- 代理商 黄海丽
- 主分类号: H01L31/0203
- IPC分类号: H01L31/0203 ; H01L31/101 ; H01L31/18
摘要:
本发明设计了一种自带参考气室的光电探测器及其制备方法,将TO‑can光电探测器的TO管座与光学元件焊封;TO管座与光学元件之间的空间组成参考气室,判断TO管座与光学元件之间是否焊接严密,如果焊接不严密,则将焊接后的将TO‑can光电探测器和光学元件放入被测气体环境中,被测气体在高压下通过焊缝充入参考气室内;利用紫外光胶将焊缝密封;在紫外光胶凝固后,再焊缝处涂上两层防潮胶;如果焊接严密,则在光学元件的侧壁打孔,然后用针管将被测气体注入参考气室内;然后利用紫外光胶将孔密封,当紫外光胶凝固后,再涂上两层防潮胶。本发明是光学光谱吸收气体传感器的关键器件,它的集成和稳定对保证测量精度起重要的作用。
公开/授权文献
- CN108258061A 一种自带参考气室的光电探测器及其制备方法 公开/授权日:2018-07-06
IPC分类: