公开(公告)号：CN108258061B

公开(公告)日：2019-09-17

申请号：CN201810036930.0

申请日：2018-01-15

申请人： 山东微感光电子有限公司

发明人： 刘统玉 ,  宁雅农 ,  孟辉 ,  宋成祥 ,  金光贤 ,  李艳芳 ,  魏玉宾 ,  王寅 ,  王兆伟

IPC分类号： H01L31/0203 ,  H01L31/101 ,  H01L31/18

摘要： 本发明设计了一种自带参考气室的光电探测器及其制备方法，将TO‑can光电探测器的TO管座与光学元件焊封；TO管座与光学元件之间的空间组成参考气室，判断TO管座与光学元件之间是否焊接严密，如果焊接不严密，则将焊接后的将TO‑can光电探测器和光学元件放入被测气体环境中，被测气体在高压下通过焊缝充入参考气室内；利用紫外光胶将焊缝密封；在紫外光胶凝固后，再焊缝处涂上两层防潮胶；如果焊接严密，则在光学元件的侧壁打孔，然后用针管将被测气体注入参考气室内；然后利用紫外光胶将孔密封，当紫外光胶凝固后，再涂上两层防潮胶。本发明是光学光谱吸收气体传感器的关键器件，它的集成和稳定对保证测量精度起重要的作用。

公开(公告)号：CN108258061A

公开(公告)日：2018-07-06

申请号：CN201810036930.0

申请日：2018-01-15

申请人： 山东微感光电子有限公司

发明人： 刘统玉 ,  宁雅农 ,  孟辉 ,  宋成祥 ,  金光贤 ,  李艳芳 ,  魏玉宾 ,  王寅 ,  王兆伟

IPC分类号： H01L31/0203 ,  H01L31/101 ,  H01L31/18

摘要： 本发明设计了一种自带参考气室的光电探测器及其制备方法，将TO‑can光电探测器的TO管座与光学元件焊封；TO管座与光学元件之间的空间组成参考气室，判断TO管座与光学元件之间是否焊接严密，如果焊接不严密，则将焊接后的将TO‑can光电探测器和光学元件放入被测气体环境中，被测气体在高压下通过焊缝充入参考气室内；利用紫外光胶将焊缝密封；在紫外光胶凝固后，再焊缝处涂上两层防潮胶；如果焊接严密，则在光学元件的侧壁打孔，然后用针管将被测气体注入参考气室内；然后利用紫外光胶将孔密封，当紫外光胶凝固后，再涂上两层防潮胶。本发明是光学光谱吸收气体传感器的关键器件，它的集成和稳定对保证测量精度起重要的作用。