基于四波横向剪切干涉的激光光束质量动态测量装置
摘要:
本发明公开了一种基于四波横向剪切干涉的激光光束质量动态测量装置,沿光路依次设置分光镜、第一哈特曼衍射光栅、第一CCD相机、第二哈特曼衍射光栅、第二CCD相机。第一哈特曼衍射光栅与第一CCD相机设置于分光镜的反射光路上,第二哈特曼衍射光栅与第二CCD相机设置于分光镜的透射光路上,且第一哈特曼衍射光栅与第二哈特曼衍射光栅与分光镜的距离相等,第一CCD相机与第一哈特曼衍射光栅的距离与第二CCD相机与第二哈特曼衍射光栅的距离相等。本发明可以实现完整激光复振幅的测量,并精确测量出干涉小信号区域的信息,相较于单一四波横向剪切干涉仪测量光束质量测量时间并未增加,在保证测量效率的前提下提高了测量精度。
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