发明授权
CN108281504B 一种室温高灵敏硅基光电导太赫兹检测器及其制备方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种室温高灵敏硅基光电导太赫兹检测器及其制备方法
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申请号: CN201810014353.5申请日: 2018-01-08
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公开(公告)号: CN108281504B公开(公告)日: 2019-07-05
- 发明人: 鲁学会 , 褚君浩 , 敬承斌 , 王连卫 , 张金中
- 申请人: 华东师范大学
- 申请人地址: 上海市闵行区东川路500号
- 专利权人: 华东师范大学
- 当前专利权人: 华东师范大学
- 当前专利权人地址: 上海市闵行区东川路500号
- 代理机构: 上海蓝迪专利商标事务所
- 代理商 徐筱梅; 张翔
- 主分类号: H01L31/08
- IPC分类号: H01L31/08 ; H01L31/18 ; G01N21/3586
摘要:
本发明公开了一种室温高灵敏硅基光电导太赫兹检测器及其制备方法,其检测器以硅基SOI(Silicon On Insulator)基片作为衬底,所述衬底上反应离子刻蚀(Reactive Ion Etching‑RIE)硅探测微桥,所述硅探测微桥两端连接金薄膜电极。本发明还公开了制备所述检测器的方法。本发明的检测器工作于室温,具有高灵敏度,快响应时间,制备简单,便于做成大规模阵列芯片的特点,使其在太赫兹材料检测、太赫兹成像等方面具有广泛的应用前景。
公开/授权文献
- CN108281504A 一种室温高灵敏硅基光电导太赫兹检测器及其制备方法 公开/授权日:2018-07-13
IPC分类: