测量装置及用于操作测量装置的方法
摘要:
本发明涉及一种测量装置及其操作方法。测量装置具有两个测量单元,每个测量单元具有探针单元。每个探针单元具有探针元件。每个探针元件在探测方向上具有外部探针侧以及与外部探针侧相对的内部探针侧。为了确定零位置或与探测方向成直角的参考平面,能够使两个探针元件经由其相应的外部探针侧或其相应的内部探针侧接触。一旦两个探针单元中的一个检测相关联的探针侧之间的接触,则借助两个探针元件之间的接触点将参考平面限定为在探测方向上的零位置。因此能够在不需要校准标准件或块规的情况下容易且精确地确定零位置。
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