公开(公告)号：CN108332672A

公开(公告)日：2018-07-27

申请号：CN201810049555.3

申请日：2018-01-18

申请人： 卡尔·马尔控股有限公司

发明人： R.齐根拜因

IPC分类号： G01B11/03 ,  G01B21/04

CPC分类号： G01B21/042 ,  G01B5/0002 ,  G01B5/008 ,  G01B21/04 ,  G01B21/045 ,  G01B11/03

摘要： 本发明涉及一种测量装置及其操作方法。测量装置具有两个测量单元，每个测量单元具有探针单元。每个探针单元具有探针元件。每个探针元件在探测方向上具有外部探针侧以及与外部探针侧相对的内部探针侧。为了确定零位置或与探测方向成直角的参考平面，能够使两个探针元件经由其相应的外部探针侧或其相应的内部探针侧接触。一旦两个探针单元中的一个检测相关联的探针侧之间的接触，则借助两个探针元件之间的接触点将参考平面限定为在探测方向上的零位置。因此能够在不需要校准标准件或块规的情况下容易且精确地确定零位置。

公开(公告)号：CN108332678A

公开(公告)日：2018-07-27

申请号：CN201810048609.4

申请日：2018-01-18

申请人： 卡尔·马尔控股有限公司

发明人： R.齐根拜因

IPC分类号： G01B11/12

CPC分类号： G01B11/02 ,  G01B9/02015 ,  G01B11/002 ,  G01B11/12

摘要： 本发明涉及用于确定工件的长度被测对象的测量装置及方法。探针单元在第一空间方向上不可移动地设置在其上的载件部分能够借助定位装置移动或定位。至少一个激光干涉仪在第一空间方向上不可移动地连接到载件部分。借助第一激光测量束和第二激光测量束，激光干涉仪产生第一测量信号以及第二测量信号，该第一测量信号描述激光干涉仪在第一空间方向上距第一反射器的距离，该第二测量信号描述激光干涉仪在第一空间方向上距第二反射器的距离。在第一空间方向上相对于载件部分或探针单元不可动并且与该第一空间方向成直角地延伸的探针系统平面因此具有在第一空间方向上的位置，该位置能够借助激光干涉仪距第一反射器和第二反射器的距离而确定。