- 专利标题: 具有自愈合功能的Ta基高温防护涂层的制备方法
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申请号: CN201810210254.4申请日: 2018-03-14
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公开(公告)号: CN108342705B公开(公告)日: 2020-01-24
- 发明人: 李航 , 阿米特 , 王俊 , 李建亮 , 季钰涓 , 张夏菲
- 申请人: 南京理工大学
- 申请人地址: 江苏省南京市玄武区孝陵卫200号
- 专利权人: 南京理工大学
- 当前专利权人: 南京理工大学
- 当前专利权人地址: 江苏省南京市玄武区孝陵卫200号
- 代理机构: 南京理工大学专利中心
- 代理商 邹伟红
- 主分类号: C23C14/35
- IPC分类号: C23C14/35 ; C23C14/16
摘要:
本发明公开了一种具有自愈合功能的Ta基高温防护涂层的制备方法,其步骤为:以99.99%高纯Ta圆形块体材料作为磁控溅射靶材,采用直流磁控溅射方法,在洁净的不锈钢衬底上进行预溅射,制备一层完全覆盖的Ta薄膜,获得具有α相的Ta的中间层;分别选取99.99%高纯Ta圆形块体材料和高纯Ag靶材作为溅射原材料,采用两个直流磁控溅射电源对两种靶材进行单独调控,在具有α相的Ta的中间层上制备Ta‑Ag自愈合高温防护层。本发明能够实现对自愈合层的组织调控,Ta‑Ag复合薄膜组织中,Ag固溶于金属Ta的晶格中形成超固溶体,在高温裂纹产生时,空位和微裂纹可通过沉淀相Ag的形成并填充到空位而达到愈合;且生成的氧化钽能在薄膜表面形成保护层,阻止氧化的进一步的进行。
公开/授权文献
- CN108342705A 具有自愈合功能的Ta基高温防护涂层的制备方法 公开/授权日:2018-07-31
IPC分类: