具有自愈合功能的Ta基高温防护涂层的制备方法
摘要:
本发明公开了一种具有自愈合功能的Ta基高温防护涂层的制备方法,其步骤为:以99.99%高纯Ta圆形块体材料作为磁控溅射靶材,采用直流磁控溅射方法,在洁净的不锈钢衬底上进行预溅射,制备一层完全覆盖的Ta薄膜,获得具有α相的Ta的中间层;分别选取99.99%高纯Ta圆形块体材料和高纯Ag靶材作为溅射原材料,采用两个直流磁控溅射电源对两种靶材进行单独调控,在具有α相的Ta的中间层上制备Ta‑Ag自愈合高温防护层。本发明能够实现对自愈合层的组织调控,Ta‑Ag复合薄膜组织中,Ag固溶于金属Ta的晶格中形成超固溶体,在高温裂纹产生时,空位和微裂纹可通过沉淀相Ag的形成并填充到空位而达到愈合;且生成的氧化钽能在薄膜表面形成保护层,阻止氧化的进一步的进行。
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