发明授权
- 专利标题: 基板贮送系统
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申请号: CN201710407358.X申请日: 2017-06-02
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公开(公告)号: CN108346605B公开(公告)日: 2019-08-06
- 发明人: 林忠和 , 陈宏奇
- 申请人: 孙建忠
- 申请人地址: 中国台湾高雄市大寮区后庄里民成街96之1号
- 专利权人: 孙建忠
- 当前专利权人: 孙建忠
- 当前专利权人地址: 中国台湾高雄市大寮区后庄里民成街96之1号
- 代理机构: 北京申翔知识产权代理有限公司
- 代理商 黄超; 周春发
- 优先权: 201720098294.5 2017.01.23 CN
- 主分类号: H01L21/677
- IPC分类号: H01L21/677
摘要:
本发明关于一种基板贮送系统,包括一机体,该机体一侧设有一预备输送空间,该预备输送空间一侧与一直立的升降容室相邻,该预备输送空间与该升降容室相邻处设一输入部,该升降容室内部设一具复数容室空间的载框,该载框设有复数纵向承载部,且该载框由一升降机组共联且令复数承载部一体升降,复数组基板载具分别由该输入部装载至该各承载部。如此即可以使得基板载具摆置所占的空间充分节省,且只需要配合该可供伸入输送操作室的移动设备作为取件的工具,而能够充分有效利用空间以及节省成本。
公开/授权文献
- CN108346605A 基板贮送系统 公开/授权日:2018-07-31
IPC分类: