• 专利标题: 基板贮送系统
  • 申请号: CN201710407358.X
    申请日: 2017-06-02
  • 公开(公告)号: CN108346605B
    公开(公告)日: 2019-08-06
  • 发明人: 林忠和陈宏奇
  • 申请人: 孙建忠
  • 申请人地址: 中国台湾高雄市大寮区后庄里民成街96之1号
  • 专利权人: 孙建忠
  • 当前专利权人: 孙建忠
  • 当前专利权人地址: 中国台湾高雄市大寮区后庄里民成街96之1号
  • 代理机构: 北京申翔知识产权代理有限公司
  • 代理商 黄超; 周春发
  • 优先权: 201720098294.5 2017.01.23 CN
  • 主分类号: H01L21/677
  • IPC分类号: H01L21/677
基板贮送系统
摘要:
本发明关于一种基板贮送系统,包括一机体,该机体一侧设有一预备输送空间,该预备输送空间一侧与一直立的升降容室相邻,该预备输送空间与该升降容室相邻处设一输入部,该升降容室内部设一具复数容室空间的载框,该载框设有复数纵向承载部,且该载框由一升降机组共联且令复数承载部一体升降,复数组基板载具分别由该输入部装载至该各承载部。如此即可以使得基板载具摆置所占的空间充分节省,且只需要配合该可供伸入输送操作室的移动设备作为取件的工具,而能够充分有效利用空间以及节省成本。
公开/授权文献
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