发明公开
- 专利标题: 压电石英基片生产工艺
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申请号: CN201810127868.6申请日: 2018-02-08
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公开(公告)号: CN108346737A公开(公告)日: 2018-07-31
- 发明人: 周朱华 , 王祖勇
- 申请人: 嘉兴晶控电子有限公司
- 申请人地址: 浙江省嘉兴市南湖区余新镇镇北路
- 专利权人: 嘉兴晶控电子有限公司
- 当前专利权人: 嘉兴晶控电子有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省嘉兴市南湖区余新镇镇北路
- 代理机构: 嘉兴启帆专利代理事务所
- 代理商 吴宏宇
- 主分类号: H01L41/335
- IPC分类号: H01L41/335
摘要:
本发明公开了压电石英基片生产工艺,包括以下工艺步骤,1)粘料;2)改圆;3)化料;4)清洗;5)研磨:研磨用模具包括底模和上模,上模用于固定圆形基片,底模中心固定有转动轴,以该转动轴为圆心在底模上设置同心的内圈、外圈、中间圈,内圈和外圈的屈光度相同,中间圈的屈光度和内圈屈光度不同,在转动轴转动时,圆形基本由上模压在底模上,上模自转同时沿外圈半径方向直线运动;6)对步骤5)处理后的圆形基片进行清洗、脱水处理;7)对步骤6)处理后的圆形基片在分频机进行分频,分频完成后作清洗、脱水处理;8)腐蚀。在研磨时,采用具有两种屈光度的底模,可使得基片在一次研磨过程中磨制出两种屈光度,生产效率高。
公开/授权文献
- CN108346737B 压电石英基片生产工艺 公开/授权日:2021-08-06
IPC分类: