压电石英基片生产工艺
摘要:
本发明公开了压电石英基片生产工艺,包括以下工艺步骤,1)粘料;2)改圆;3)化料;4)清洗;5)研磨:研磨用模具包括底模和上模,上模用于固定圆形基片,底模中心固定有转动轴,以该转动轴为圆心在底模上设置同心的内圈、外圈、中间圈,内圈和外圈的屈光度相同,中间圈的屈光度和内圈屈光度不同,在转动轴转动时,圆形基本由上模压在底模上,上模自转同时沿外圈半径方向直线运动;6)对步骤5)处理后的圆形基片进行清洗、脱水处理;7)对步骤6)处理后的圆形基片在分频机进行分频,分频完成后作清洗、脱水处理;8)腐蚀。在研磨时,采用具有两种屈光度的底模,可使得基片在一次研磨过程中磨制出两种屈光度,生产效率高。
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