发明公开
- 专利标题: 半导体装置
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申请号: CN201580084162.0申请日: 2015-10-28
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公开(公告)号: CN108352321A公开(公告)日: 2018-07-31
- 发明人: 巢山拓郎
- 申请人: 奥林巴斯株式会社
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 奥林巴斯株式会社
- 当前专利权人: 奥林巴斯株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 北京三友知识产权代理有限公司
- 代理商 李辉; 于靖帅
- 国际申请: PCT/JP2015/080324 2015.10.28
- 国际公布: WO2017/072871 JA 2017.05.04
- 进入国家日期: 2018-04-26
- 主分类号: H01L21/3205
- IPC分类号: H01L21/3205 ; H01L21/768 ; H01L23/522
摘要:
半导体装置(1)具有:半导体元件(10),其在第一主面(10SA)形成有半导体电路(11),在第二主面(10SB)具有通孔(H10),该通孔(H10)具有开口;第一布线(21A),其配设于所述半导体元件(10)的所述第一主面(10SA),与所述半导体电路(11)连接,该第一布线(21A)的一部分在所述通孔(H10)的底面露出;第一绝缘层(22A),其覆盖所述第一布线(21A);以及再布线(30),其从在所述通孔(H10)的底面与所述第一布线(21A)接触的触头部(30A)经由所述通孔(H10)的内部延伸设置至所述第二主面(10SB)上,在所述第一布线(21A)上形成有第一贯通孔(H21A),所述触头部(30A)与所述第一布线(21A)的多个面接触。
公开/授权文献
- CN108352321B 半导体装置 公开/授权日:2022-09-16
IPC分类: