半导体装置用接合线
摘要:
一种半导体装置用接合线,其适于确保较高的接合可靠性、并且具有优异的耐劈刀磨损性和表面缺陷耐受性,还满足球形成性、楔接合性等综合性能的车载用器件用接合线,具有Cu合金芯材、被形成在上述Cu合金芯材的表面的Pd被覆层、以及被形成在上述Pd被覆层的表面的Cu表面层,该半导体装置用接合线的特征在于,含有Ni,Ni相对于线整体的浓度为0.1~1.2wt.%,上述Pd被覆层的厚度为0.015~0.150μm,上述Cu表面层的厚度为0.0005~0.0070μm。
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