发明公开
CN108409340A 一种管状靶材的内旋转高温烧结方法
无效 - 驳回
- 专利标题： 一种管状靶材的内旋转高温烧结方法
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申请号： CN201810466234.3申请日： 2018-05-16
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公开(公告)号： CN108409340A公开(公告)日： 2018-08-17
- 发明人: 舒永春 , 陈杰 , 孙本双 , 曾学云 , 刘洋
- 申请人： 郑州大学
- 申请人地址： 河南省郑州市高新技术开发区科学大道100号
- 专利权人： 郑州大学
- 当前专利权人： 郑州大学
- 当前专利权人地址： 河南省郑州市高新技术开发区科学大道100号
- 代理机构： 北京卫智畅科专利代理事务所
- 代理商 唐维铁
- 主分类号： C04B35/64
- IPC分类号： C04B35/64 ; C04B35/453 ; C04B35/10
摘要：
本发明公开了一种管状靶材的内旋转高温烧结方法，包括管状靶材素坯成型、加热烧结管状靶材素坯，加热过程中使管状靶材素坯处于旋转状态，以及，降温直至室温、得到烧结好的管状靶材。本发明实施例公开的管状靶材的内旋转高温烧结方法，能够制备出收缩均匀、无开裂、无烧结变形的管状靶材，制备方法简单，易于工业化应用。