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公开(公告)号：CN118344176A
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202410267577.2
申请日：2024-03-08
IPC分类号： C04B38/06 , C04B35/457 , C04B35/622
摘要： 本发明属于电子陶瓷材料技术领域，公开了一种利用废靶制备氧化锡钽RPD靶材的方法，包括以下步骤：取TTO溅射废靶材，在稀盐酸中浸泡，洗涤，烘干；将烘干后的TTO溅射废靶材研磨成粉，过筛网，将过筛网的粉料进一步过细筛网，未过筛网的粉料为粗颗粒，过筛网的粉料为细颗粒；取粗颗粒、细颗粒与聚乙烯醇水溶液混合均匀，过筛网；将混合物料放入模具中，使用油压机压制成型，得到靶材素坯；用铝硅箔将得到的靶材素坯完全包覆，用真空封装机进行真空封装处理，然后冷等静压机压制；将得到的靶材素坯放入烧结炉中进行无压烧结，得到低密度多孔氧化锡钽RPD靶材。本发明以TTO溅射废靶材为原料制备氧化锡钽RPD靶材，可有效地减少资源的浪费。
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公开(公告)号：CN111362298B
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202010151073.6
申请日：2020-03-06
申请人： 郑州大学
摘要： 一种粒形可控的氧化铟球形粉体的制备方法，包括步骤：(1)将浓度为35～50％的硫酸溶液与金属铟反应，反应进行一定的时间，然后加入浓度为65～68％的硝酸溶液与金属铟反应，得到含有硫酸铟和硝酸铟的混合溶液体系；(2)调节混合溶液体系中铟离子的浓度在0.45～0.6M之间；(3)将混合溶液与沉淀剂进行沉淀反应，至溶液pH值为9～10之间，然后将溶液沉淀老化一定时间得到氢氧化铟前驱体浆料；(4)使用陶瓷膜过滤洗涤前驱体浆料，至洗涤过滤液的pH值为7～8之间、电导率小于等于50μS/cm时结束洗涤，得到纯化的前驱体试样；(5)将前驱体试样在80～130℃烘干；(6)将前驱体试样进行球磨，然后将前驱体在煅烧温度下进行煅烧，得到氧化铟粉体。
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公开(公告)号：CN114702304A
公开(公告)日：2022-07-05
申请号：CN202210511038.X
申请日：2022-05-11
申请人： 郑州大学
IPC分类号： C04B35/01 , C04B35/622 , C04B35/638 , C23C14/08 , C23C14/34
摘要： 本发明提供了一种铟钨氧化物靶材及其制备方法，属于光电材料技术领域。本发明先将化学计量比的氧化铟和氧化钨混合，经过煅烧使二者能够完全固相反应得到In6WO12；通过在氧气氛围中进行煅烧可以抑制氧空位的产生，进而提高产物的致密度；将In6WO12与氧化铟、水、分散剂和粘结剂混合后进行压力注浆，提高In6WO12相在靶材中的分散程度，同时进一步提高靶材的致密度；通过脱脂处理去除分散剂和粘结剂，结合台阶变温烧结，使得到的靶材组织细化均匀、致密度高。实施例的实验结果表明，本发明提供的制备方法制备的铟钨氧化物靶材的相对密度为98.1～99.6％。
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公开(公告)号：CN111362298A
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN202010151073.6
申请日：2020-03-06
申请人： 郑州大学
摘要： 一种粒形可控的氧化铟球形粉体的制备方法，包括步骤：(1)将浓度为35～50％的硫酸溶液与金属铟反应，反应进行一定的时间，然后加入浓度为65～68％的硝酸溶液与金属铟反应，得到含有硫酸铟和硝酸铟的混合溶液体系；(2)调节混合溶液体系中铟离子的浓度在0.45～0.6M之间；(3)将混合溶液与沉淀剂进行沉淀反应，至溶液pH值为9～10之间，然后将溶液沉淀老化一定时间得到氢氧化铟前驱体浆料；(4)使用陶瓷膜过滤洗涤前驱体浆料，至洗涤过滤液的pH值为7～8之间、电导率小于等于50μS/cm时结束洗涤，得到纯化的前驱体试样；(5)将前驱体试样在80～130℃烘干；(6)将前驱体试样进行球磨，然后将前驱体在煅烧温度下进行煅烧，得到氧化铟粉体。
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公开(公告)号：CN109369172A
公开(公告)日：2019-02-22
申请号：CN201811505302.9
申请日：2018-12-10
申请人： 郑州大学
IPC分类号： C04B35/453 , C04B35/622
摘要： 本发明公开了低结瘤氧化铟锡靶材的制备方法，该方法包括，氧化铟粉体、氧化锡粉体研磨混匀，得到混合粉体；混合粉体与料浆液混合，真空除气，得到料浆；料浆在压力下注入成型模具，冷等静压强化，得到靶材素坯；靶材素坯在恒温恒湿环境中干燥，在空气气氛下程序升温至脱脂温度，保持设定的时间，在氧气气氛下程序升温至烧结温度，保持设定时间；停止通入氧气，程序降温至室温，得到氧化铟锡靶材。本方法的烧结温度低，烧结时间大大缩短，有效抑制了晶粒长大，保证了氧化铟锡靶材晶粒细小、分布均匀，平均晶粒度为4～6μm；相对密度大于99.6％；电阻率低至1.24×10-4Ω.cm，具有长时间溅射结瘤低、不中毒的优异性能。
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公开(公告)号：CN109279873A
公开(公告)日：2019-01-29
申请号：CN201811390845.0
申请日：2018-11-21
申请人： 郑州大学
IPC分类号： C04B35/01 , C04B35/622 , C04B35/626
摘要： 本发明公开的氧化铟锡靶材的超低温制备方法，将氧化铟粉体、氧化锡粉体球磨混匀，得到混合粉体；混合粉体与料浆液混合，得到粉料；粉料在模具中成形得到氧化铟锡靶材素坯，在模具中同时加压、升温；空气气氛中，在升高的温度、升高的压力下保持设定时间，降温至室温，得到了烧结密度高、晶粒度均匀的氧化铟锡靶材，制备温度低至450℃，晶粒尺寸在1.0μm以下，相对密度可达99.2％，制备时间短，不采用高浓度氧气气氛，制备过程安全，具有良好的工业应用前景。
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公开(公告)号：CN108895828A
公开(公告)日：2018-11-27
申请号：CN201810466163.7
申请日：2018-05-16
申请人： 郑州大学
摘要： 本发明公开了一种用于管状靶材制备的微波混合加热内旋转烧结装置，该烧结装置包括烧结装置本体，该烧结装置本体包括炉膛上盖、炉膛本体和炉膛下盖；承烧台，设置在炉膛下盖上，用于放置管状靶材；旋转组件，用于旋转承烧台，该旋转组件可以为磁旋转组件；微波加热组件，设置在烧结装置本体上，用于对烧结装置加热；电阻加热组件，设置在烧结装置本体中，用于对烧结装置加热。微波混合加热内旋转烧结装置通过管状靶材的旋转和微波混合加热，实现了管状靶材烧结过程中不同温度段加热温度的均匀性，减小了大尺寸管状靶材在加热过程中受热不均的问题，能够制备出收缩均匀、烧结不形变、不开裂的大尺寸管状靶材。
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公开(公告)号：CN108516820A
公开(公告)日：2018-09-11
申请号：CN201810722380.8
申请日：2018-07-04
申请人： 郑州大学
IPC分类号： C04B35/457 , C04B35/638 , C04B35/64 , C23C14/35
摘要： 本发明提供一种氧化铟锡靶材的短流程烧结工艺，包括：将氧化铟粉体及氧化锡粉体混合，得到混合粉体；向混合粉体中加入水、成型剂、分散剂和消泡剂，混合得到料浆；将料浆采用粉浆浇注成型，得到氧化铟锡素坯；氧化铟锡素坯进行一体化脱脂烧结，得到氧化铟锡靶材。采用脱脂烧结一体化工艺，烧结温度降低、烧结时间大大缩短，仅需要5天即可完成从脱脂烧结及降温的整个烧结过程。实现快速活化烧结，抑制晶粒长大，保证制备的氧化铟锡靶材的晶粒细小、均匀，平均晶粒度为4～5μm；致密度高，相对密度可达99.7％以上，具有较高的强度性能，抗弯强度≥200MPa。
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公开(公告)号：CN106432607A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201610868545.3
申请日：2016-09-30
申请人： 郑州大学
IPC分类号： C08F226/10 , C08F222/16 , A61K31/4375 , A61K31/337 , A61K47/32 , A61K9/107 , A61P35/00
摘要： 本发明涉及一种两亲性聚合物的制备方法及其应用，可有效解决难溶性药物吸收差，疗效差，生物利用度较低，不良反应较多的问题。技术方案为：一种两亲性聚合物由N-乙烯基吡咯烷酮单体和马来酸格尔伯特二十烷醇单酯连接构成，由马来酸酐和2-辛基-十二烷格尔伯特醇酯化生成马来酸格尔伯特醇二十烷单酯，以过氧月桂酰为引发剂，以N-乙烯基吡咯烷酮和马来酸格尔伯特二十烷醇单酯为单体，在正庚烷中进行自由基聚合反应，制得两亲性聚合物。本发明以两亲性聚合物为载体材料，将难溶性药物包埋于聚合物胶束内，制成难溶性载药胶束注射剂，有很好的肿瘤抑制作用，且毒性低，可增强难溶性药物的水溶性，改善药物的生物利用度，降低药物毒副作用。
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