本发明涉及生成特定湿度的气体样品的方法及装置。生成特定湿度的气体样品的方法包括以下步骤：（1）向储气罐内注入原始气体，检测其湿度；（2）当原始气体的湿度低于目标气体样品时，计算出原始气体与目标气体样品相比所需要补充的水分的质量；当原始气体的湿度高于目标气体样品时，将原始气体通过干燥处理单元使原始气体的湿度低于目标气体样品的湿度，再计算出干燥后的原始气体与目标气体样品相比所需要补充的水分的质量；（3）向加湿处理单元注入相同质量的水分。减少了对原始气体分别进行干燥与加湿、再按比例混合的步骤，提高了生成湿度气体样品的效率。