一种混合气体净化分离回收系统

    公开(公告)号:CN109850854B

    公开(公告)日:2020-11-24

    申请号:CN201811574705.9

    申请日:2018-12-21

    IPC分类号: C01B17/45

    摘要: 本发明涉及一种混合气体净化分离回收系统,包括串接连接的预处理单元、气体分离单元以及纯净气体回收单元,预处理单元的上游端部具有用于与开关气腔连接的回收口,气体分离单元包括与预处理单元的下游端部连接的初级膜分离器,初级膜分离器的下游并联连接有第一、第二次级膜分离器,第一次级膜分离器与初级膜分离器的氮气出口连接,第二次级膜分离器与初级膜分离器的六氟化硫出口连接,第一次级膜分离器的氮气出口放空,六氟化硫出口通过回流管路连接预处理单元,第二次级膜分离器的氮气出口通过回流管路连接预处理单元,六氟化硫出口连接下游的纯净气体回收单元。使两路次级膜分离器分别用于专门分离出氮气与六氟化硫,提高了分离效果。

    一种混合气体净化分离回收系统

    公开(公告)号:CN109850854A

    公开(公告)日:2019-06-07

    申请号:CN201811574705.9

    申请日:2018-12-21

    IPC分类号: C01B17/45

    摘要: 本发明涉及一种混合气体净化分离回收系统,包括串接连接的预处理单元、气体分离单元以及纯净气体回收单元,预处理单元的上游端部具有用于与开关气腔连接的回收口,气体分离单元包括与预处理单元的下游端部连接的初级膜分离器,初级膜分离器的下游并联连接有第一、第二次级膜分离器,第一次级膜分离器与初级膜分离器的氮气出口连接,第二次级膜分离器与初级膜分离器的六氟化硫出口连接,第一次级膜分离器的氮气出口放空,六氟化硫出口通过回流管路连接预处理单元,第二次级膜分离器的氮气出口通过回流管路连接预处理单元,六氟化硫出口连接下游的纯净气体回收单元。使两路次级膜分离器分别用于专门分离出氮气与六氟化硫,提高了分离效果。

    一种六氟化硫气体回收充气装置

    公开(公告)号:CN107588325A

    公开(公告)日:2018-01-16

    申请号:CN201710807683.5

    申请日:2017-09-08

    IPC分类号: F17D1/04 F17D3/01

    摘要: 本发明涉及一种六氟化硫气体回收充气装置。该六氟化硫气体回收充气装置包括接头装置,接头装置连接有抽真空支路、回收支路以及充气支路并可选通或连通抽真空支路与回收支路和充气支路,抽真空支路上设置有真空泵,回收支路远离接头装置的一端连接有储气罐,储气罐的进口处设置有储气阀,充气支路的上游端在储气罐上游与回收支路连接,下游端与回收支路的上游端连接,回收支路上设置有气体液化装置,充气支路上设置有充气支路控制阀。本发明的六氟化硫气体回收充气装置可实现对设备气室的抽真空、对装置本身抽真空、回收设备气室中的六氟化硫气体、向设备气室中充气等操作,功能多样。