激光加工装置
摘要:
提供激光加工装置,结构简单但能够将加工方向与激光光线的分散方向维持为规定的关系。激光加工装置(2)包含:保持单元(6),其对被加工物进行保持;激光光线照射单元(24),其对被加工物照射激光光线;X方向移动单元,其对保持单元和激光光线照射单元在X方向上相对地进行加工进给;和Y方向移动单元,其对保持单元和激光光线照射单元在与X方向垂直的Y方向上相对地进行加工进给,激光光线照射单元包含:激光振荡器(242),其振荡出激光光线;多面镜(245),其使激光光线按照规定的分散角度分散并在X方向上进行扫描;聚光器(241),其将在X方向上扫描的激光光线会聚于被加工物;和反转器(246),其配设在多面镜与聚光器之间,使激光光线的扫描方向反转。
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