- 专利标题: 熔体本征对流波动的原位探测方法、控制方法及控制系统
- 专利标题(英): In-situ detection method, control method and control system of melt intrinsic convection fluctuation
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申请号: CN201810149828.1申请日: 2018-02-13
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公开(公告)号: CN108441941A公开(公告)日: 2018-08-24
- 发明人: 朱允中 , 王彪 , 林少鹏
- 申请人: 中山大学
- 申请人地址: 广东省广州市海珠区新港西路135号
- 专利权人: 中山大学
- 当前专利权人: 中山大学
- 当前专利权人地址: 广东省广州市海珠区新港西路135号
- 代理机构: 广州骏思知识产权代理有限公司
- 代理商 吴静芝
- 主分类号: C30B15/22
- IPC分类号: C30B15/22 ; C30B15/28
摘要:
本发明涉及一种熔体本征对流波动的原位探测方法,通过实时采集晶体生长过程中的晶体和熔体间的界面相电信号,对所述界面相电信号进行傅里叶变换处理,提取其中的长周期信号作为熔体本征对流波动信号,根据所述熔体本征对流波动信号的波动规律获得熔体本征对流数据,以反馈晶体生长界面的对流状态。本发明还涉及一种熔体本征对流波动的控制方法,根据本发明反馈的对流状态调整晶体生长条件,以控制晶体生长界面的对流波动。本发明还涉及一种熔体本征对流波动的控制系统,包括电信号采集系统、电信号处理系统和对流调控系统。通过本发明可实时、精确的反馈晶体生长界面的熔体对流波动情况,并实现闭环控制。
公开/授权文献
- CN108441941B 熔体本征对流波动的原位探测方法、控制方法及控制系统 公开/授权日:2021-01-15