- 专利标题: 一种薄膜场效应晶体管型气体传感器及其制备方法
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申请号: CN201810174504.3申请日: 2018-03-02
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公开(公告)号: CN108447915B公开(公告)日: 2020-11-24
- 发明人: 刘欢 , 唐江 , 张建兵 , 刘竞尧 , 胡志响 , 易飞 , 张光祖
- 申请人: 华中科技大学 , 深圳华中科技大学研究院
- 申请人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 专利权人: 华中科技大学,深圳华中科技大学研究院
- 当前专利权人: 华中科技大学,深圳华中科技大学研究院
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 代理机构: 华中科技大学专利中心
- 代理商 许恒恒; 李智
- 主分类号: H01L29/786
- IPC分类号: H01L29/786 ; H01L29/22 ; H01L29/24 ; H01L29/06 ; H01L21/34 ; G01N27/414
摘要:
本发明公开了一种薄膜场效应晶体管(TFT)型气体传感器及其制备方法,其中该传感器为底栅顶接触式结构或底栅底接触式结构的薄膜场效应晶体管;以底栅顶接触式结构的薄膜场效应晶体管为例,该晶体管自下而上包括衬底、栅极绝缘层、沟道有源层,沟道有源层为量子点薄膜,其上方沉积有源电极和漏电极;衬底还引出有栅电极。本发明通过对薄膜场效应晶体管型气体传感器其内部组成及结构、相应制备方法的整体工艺及各个步骤的参数进行改进,以量子点薄膜同时作为沟道有源层和气体敏感层,利用栅极偏压的调控综合多参数的气体响应,制备出高灵敏、低功耗和高选择性气体传感器,达到检测低浓度目标气体如NO2、H2S的效果。
公开/授权文献
- CN108447915A 一种薄膜场效应晶体管型气体传感器及其制备方法 公开/授权日:2018-08-24
IPC分类: