一种金属钨表面纳米化的装置及其方法
摘要:
本发明公开了一种金属钨表面纳米化的装置及其方法,是采用设置有小孔的钨筒作为空心阴极装置,形成空心阴极效应,离化氦气,并获得低电压、大电流的氦等离子体,并使氦离子轰击作用于钨样品表面,通过空心阴极效应在5min钟内迅速升高样品温度到1600K以上。在注入一定剂量的氦离子后,可在钨表面获得与基体紧密连接的纳米结构。本发明提供了一种金属钨表面纳米化的装置及其方法装置简便、成本低廉,工艺简单、生产效率高,可以在金属钨表面形成均匀一致、与基体紧密连接的纳米结构生长层,提供了一种解决钨表面纳米化的全新途径,可进一步处理获得用于制备分解水的光催化材料。
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