发明授权
- 专利标题: 电弧蒸发装置
-
申请号: CN201780007847.4申请日: 2017-01-06
-
公开(公告)号: CN108495948B公开(公告)日: 2020-09-29
- 发明人: 藤井博文 , 龟泽英明 , 谷藤信一 , 白根英树
- 申请人: 株式会社神户制钢所
- 申请人地址: 日本兵库县神户市
- 专利权人: 株式会社神户制钢所
- 当前专利权人: 株式会社神户制钢所
- 当前专利权人地址: 日本兵库县神户市
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 李婷; 刘林华
- 优先权: 2016-012305 2016.01.26 JP
- 国际申请: PCT/JP2017/000295 2017.01.06
- 国际公布: WO2017/130662 JA 2017.08.03
- 进入国家日期: 2018-07-23
- 主分类号: C23C14/24
- IPC分类号: C23C14/24 ; C23C14/34
摘要:
本发明提供一种能够长期准确地进行靶材是否存在于规定的位置的检测的电弧蒸发装置。电弧蒸发装置(1)包括:具有远端面(3a)和与其连续地沿轴向延伸的侧面(3b),通过电弧放电从远端面(3a)起熔解并蒸发的棒状的靶材(3);电弧电源(8);让靶材(3)在远端面(3a)前进的输送方向上沿轴向移动的靶材输送部(4);在靶材(3)的输送方向上的规定的位置,呈可从与输送方向交叉的交叉方向接触于靶材(3)的侧面(3b)的形状的点火杆(6);让点火杆(6)以从退避位置沿交叉方向进入到靶材(3)被送入的搬送区域的方式移动的旋转致动器(7),其中,该退避位置是从侧面(3b)向交叉方向离开的位置;以及在点火杆(6)的移动过程中,检测点火杆(6)是否接触于靶材(3)的侧面(3b)的检测部(9)。
公开/授权文献
- CN108495948A 电弧蒸发装置 公开/授权日:2018-09-04