半导体装置及其制造方法
摘要:
半导体装置具备具有结晶质硅半导体层(13)的第1薄膜晶体管(101)和具有氧化物半导体层(23)的第2薄膜晶体管(102),第1薄膜晶体管(101)的第1源极电极(31)、第1漏极(33)隔着第1层间绝缘层(L1)设置在结晶质硅半导体层之上,第2薄膜晶体管(102)的第2源极电极(25S)电连接到与第1源极电极、第1漏极电极由同一导电膜形成的配线(35),配线(35)隔着第2层间绝缘层(L2)设置在第2源极电极(25S)之上,并且在包含形成于第2层间绝缘层(L2)的开口的第2接触孔内与第2源极电极(25S)接触,第2源极电极具有包含主层(25m)和配置在主层之上的上层(25u)的层叠结构,在第2层间绝缘层的开口的下方,上层(25u)具有第1开口部,主层(25m)具有第2开口部(p2)或凹部,当从基板的法线方向观看时,第2开口部(p2)或凹部比第1开口部(p1)大。
公开/授权文献
0/0