发明公开
- 专利标题: 半导体装置及其制造方法
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申请号: CN201780008343.4申请日: 2017-01-16
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公开(公告)号: CN108496244A公开(公告)日: 2018-09-04
- 发明人: 齐藤贵翁 , 神崎庸辅 , 中泽淳 , 伊东一笃 , 金子诚二
- 申请人: 夏普株式会社
- 申请人地址: 日本大阪府
- 专利权人: 夏普株式会社
- 当前专利权人: 夏普株式会社
- 当前专利权人地址: 日本大阪府
- 代理机构: 北京市隆安律师事务所
- 代理商 权鲜枝; 张艳凤
- 优先权: 2016-012982 2016.01.27 JP
- 国际申请: PCT/JP2017/001252 2017.01.16
- 国际公布: WO2017/130776 JA 2017.08.03
- 进入国家日期: 2018-07-26
- 主分类号: H01L21/336
- IPC分类号: H01L21/336 ; G09F9/00 ; G09F9/30 ; H01L21/3205 ; H01L21/768 ; H01L23/522 ; H01L23/532 ; H01L29/786
摘要:
半导体装置具备具有结晶质硅半导体层(13)的第1薄膜晶体管(101)和具有氧化物半导体层(23)的第2薄膜晶体管(102),第1薄膜晶体管(101)的第1源极电极(31)、第1漏极(33)隔着第1层间绝缘层(L1)设置在结晶质硅半导体层之上,第2薄膜晶体管(102)的第2源极电极(25S)电连接到与第1源极电极、第1漏极电极由同一导电膜形成的配线(35),配线(35)隔着第2层间绝缘层(L2)设置在第2源极电极(25S)之上,并且在包含形成于第2层间绝缘层(L2)的开口的第2接触孔内与第2源极电极(25S)接触,第2源极电极具有包含主层(25m)和配置在主层之上的上层(25u)的层叠结构,在第2层间绝缘层的开口的下方,上层(25u)具有第1开口部,主层(25m)具有第2开口部(p2)或凹部,当从基板的法线方向观看时,第2开口部(p2)或凹部比第1开口部(p1)大。
公开/授权文献
- CN108496244B 半导体装置及其制造方法 公开/授权日:2021-04-13
IPC分类: