一种基于逆向哈特曼检测的自由曲面检测方法
摘要:
本发明提供一种基于逆向哈特曼检测的自由曲面检测方法,涉及测量技术领域。标定光路系统结构位置参数;建立被测物置为理想面的理想光路系统模型;依据理想光路系统模型,实验测得包含表面误差与结构误差的波前像差;调整理想光路系统模型参数,对测得数数据进行基于低、高阶像差分离优化的两步结构误差校正,得到标准光路系统模型;对标准光路系统模型进行光线追迹,测得只有由被测物表面误差造成的波前像差,计算得到被测物表面误差。本发明解决了现有技术中高精度检测自由曲面不具有通用性的技术问题。本发明有益效果为:对结构误差进行基于泽尼克拟合的两步优化,有效消除系统的结构位置误差,提升了系统检测精度,检测通用化。
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