发明公开
CN108508284A 一种基于扭转振动的互屏蔽式电场传感器
无效 - 驳回
- 专利标题: 一种基于扭转振动的互屏蔽式电场传感器
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申请号: CN201810255986.5申请日: 2018-03-26
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公开(公告)号: CN108508284A公开(公告)日: 2018-09-07
- 发明人: 夏善红 , 储昭志 , 雷虎成 , 彭春荣 , 凌必赟 , 张洲威
- 申请人: 中国科学院电子学研究所 , 北京中科飞龙传感技术有限责任公司
- 申请人地址: 北京市海淀区北四环西路19号
- 专利权人: 中国科学院电子学研究所,北京中科飞龙传感技术有限责任公司
- 当前专利权人: 中国科学院电子学研究所,北京中科飞龙传感技术有限责任公司
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区北四环西路19号
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 曹玲柱
- 主分类号: G01R29/14
- IPC分类号: G01R29/14
摘要:
本发明公开了一种基于扭转振动的互屏蔽式电场传感器,包括:基底;电场感应结构,该电场感应结构包含:至少一组固定电极和可动扭转电极,该固定电极与可动扭转电极均为感应电极,并且两者互为屏蔽电极,即在可动扭转电极扭转振动时,固定电极和可动扭转电极之间产生相对运动,两者相互屏蔽,同时在固定电极和可动扭转电极上产生感应电荷的变化;扭转弹性梁,与可动扭转电极相连;以及驱动结构,驱动可动扭转电极绕着扭转弹性梁发生扭转振动,使得固定电极与可动扭转电极产生相对位置变化。该电场传感器的结构简单且体积小,感应效率高,使用范围广泛,适用于普通机械加工和微加工技术制备,易于组装、集成、批量化和规模化生产。