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公开(公告)号：CN108508283B
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN201810694787.4
申请日：2018-06-28
申请人： 中国科学院电子学研究所 , 北京中科飞龙传感技术有限责任公司
摘要： 本发明提供一种电场传感器封装组件，其包括：电场敏感芯片，用于测量电场强度；基板，电场敏感芯片设置在基板的上表面上；连接部件，该连接部件用于连接基板和电场敏感芯片；封帽，该封帽与基板的上表面连接形成腔体结构，电场敏感芯片和连接部件设置在腔体结构内；以及增敏电极，该增敏电极设置在封帽的上表面上。本发明还提供一种批量化制造电场传感器封装组件的方法。
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公开(公告)号：CN110031691A
公开(公告)日：2019-07-19
申请号：CN201910333896.8
申请日：2019-04-24
申请人： 北京中科飞龙传感技术有限责任公司 , 中国科学院电子学研究所
摘要： 本发明提供了一种非接触式静电传感器组网系统，包括：至少一台检测设备、通信单元和主机设备；各台检测设备设置在监控范围内的各个节点上，所述检测设备得到的检测数据通过所述通信单元传输到所述主机设备上，所述主机设备的存储单元对检测数据进行实时存储，方便后续进行数据分析处理；其中，每台检测设备包括静电感应单元，用于检测所述检测设备所处环境带电物产生的静电场。本发明实现了体积小，功耗低，精度高，实用性强，自组网，大范围多点静电监测。
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公开(公告)号：CN108508284A
公开(公告)日：2018-09-07
申请号：CN201810255986.5
申请日：2018-03-26
申请人： 中国科学院电子学研究所 , 北京中科飞龙传感技术有限责任公司
IPC分类号： G01R29/14
摘要： 本发明公开了一种基于扭转振动的互屏蔽式电场传感器，包括：基底；电场感应结构，该电场感应结构包含：至少一组固定电极和可动扭转电极，该固定电极与可动扭转电极均为感应电极，并且两者互为屏蔽电极，即在可动扭转电极扭转振动时，固定电极和可动扭转电极之间产生相对运动，两者相互屏蔽，同时在固定电极和可动扭转电极上产生感应电荷的变化；扭转弹性梁，与可动扭转电极相连；以及驱动结构，驱动可动扭转电极绕着扭转弹性梁发生扭转振动，使得固定电极与可动扭转电极产生相对位置变化。该电场传感器的结构简单且体积小，感应效率高，使用范围广泛，适用于普通机械加工和微加工技术制备，易于组装、集成、批量化和规模化生产。
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公开(公告)号：CN110412362B
公开(公告)日：2021-04-06
申请号：CN201910565144.4
申请日：2019-06-26
申请人： 中国科学院电子学研究所 , 北京中科飞龙传感技术有限责任公司
IPC分类号： G01R29/12
摘要： 一种压电驱动互屏蔽电极微型电场传感器，主要包括：衬底、固定电极、可动电极、支柱、弹性梁、绝缘层和驱动结构；其中，构成传感器敏感结构的可动电极和固定电极在静止状态时位于同一平面，两者均为感应电极且互为屏蔽电极；由驱动电极和压电层构成的驱动结构驱动可动电极运动，使固定电极与可动电极产生相对位置变化；驱动结构位于感应电极外侧，驱动信号对感应电极上的信号干扰小。本发明的电场传感器可实现低电压驱动，有利于降低耦合干扰，提高传感器的信噪比；通过互屏蔽电极的设置，可提高敏感结构的感应效率，有利于提高传感器的分辨力和灵敏度；还具有微型化、结构简单、便于集成和批量化生产等特点。
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公开(公告)号：CN110412362A
公开(公告)日：2019-11-05
申请号：CN201910565144.4
申请日：2019-06-26
申请人： 中国科学院电子学研究所 , 北京中科飞龙传感技术有限责任公司
IPC分类号： G01R29/12
摘要： 一种压电驱动互屏蔽电极微型电场传感器，主要包括：衬底、固定电极、可动电极、支柱、弹性梁、绝缘层和驱动结构；其中，构成传感器敏感结构的可动电极和固定电极在静止状态时位于同一平面，两者均为感应电极且互为屏蔽电极；由驱动电极和压电层构成的驱动结构驱动可动电极运动，使固定电极与可动电极产生相对位置变化；驱动结构位于感应电极外侧，驱动信号对感应电极上的信号干扰小。本发明的电场传感器可实现低电压驱动，有利于降低耦合干扰，提高传感器的信噪比；通过互屏蔽电极的设置，可提高敏感结构的感应效率，有利于提高传感器的分辨力和灵敏度；还具有微型化、结构简单、便于集成和批量化生产等特点。
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公开(公告)号：CN108614163B
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN201810727988.X
申请日：2018-07-04
申请人： 中国科学院电子学研究所 , 北京中科飞龙传感技术有限责任公司
摘要： 本公开提供了一种分布电极式三维电场传感器，包括：封装结构、电场敏感单元和多个分布式电极；电场敏感单元封装在封装结构内；多个分布式电极在封装结构的多个面上均匀分布；多个分布式电极分别与封装结构通过绝缘柱相连，多个分布式电极分别与电场敏感单元电性相连。本公开有利于减小三维电场传感器的体积，显著降低对被测空间电场的畸变干扰，有利于实现空间三维电场的高灵敏测量。
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公开(公告)号：CN108614163A
公开(公告)日：2018-10-02
申请号：CN201810727988.X
申请日：2018-07-04
申请人： 中国科学院电子学研究所 , 北京中科飞龙传感技术有限责任公司
摘要： 本公开提供了一种分布电极式三维电场传感器，包括：封装结构、电场敏感单元和多个分布式电极；电场敏感单元封装在封装结构内；多个分布式电极在封装结构的多个面上均匀分布；多个分布式电极分别与封装结构通过绝缘柱相连，多个分布式电极分别与电场敏感单元电性相连。本公开有利于减小三维电场传感器的体积，显著降低对被测空间电场的畸变干扰，有利于实现空间三维电场的高灵敏测量。
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公开(公告)号：CN108508283A
公开(公告)日：2018-09-07
申请号：CN201810694787.4
申请日：2018-06-28
申请人： 中国科学院电子学研究所 , 北京中科飞龙传感技术有限责任公司
摘要： 本发明提供一种电场传感器封装组件，其包括：电场敏感芯片，用于测量电场强度；基板，电场敏感芯片设置在基板的上表面上；连接部件，该连接部件用于连接基板和电场敏感芯片；封帽，该封帽与基板的上表面连接形成腔体结构，电场敏感芯片和连接部件设置在腔体结构内；以及增敏电极，该增敏电极设置在封帽的上表面上。本发明还提供一种批量化制造电场传感器封装组件的方法。
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公开(公告)号：CN210037988U
公开(公告)日：2020-02-07
申请号：CN201920567134.X
申请日：2019-04-24
申请人： 北京中科飞龙传感技术有限责任公司 , 中国科学院电子学研究所
摘要： 本实用新型提供了一种非接触式静电传感器组网系统，包括：至少一台检测设备、通信单元和主机设备；各台检测设备设置在监控范围内的各个节点上，所述检测设备得到的检测数据通过所述通信单元传输到所述主机设备上，所述主机设备的存储单元对检测数据进行实时存储，方便后续进行数据分析处理；其中，每台检测设备包括静电感应单元，用于检测所述检测设备所处环境带电物产生的静电场；所述通信单元采用有线或者无线的通信方式。本实用新型实现了体积小，功耗低，精度高，实用性强，自组网，可大范围多点静电监测。
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公开(公告)号：CN208443926U
公开(公告)日：2019-01-29
申请号：CN201821017705.4
申请日：2018-06-28
申请人： 中国科学院电子学研究所 , 北京中科飞龙传感技术有限责任公司
摘要： 本实用新型提供一种电场传感器封装组件，其包括：电场敏感芯片，用于测量电场强度；基板，电场敏感芯片设置在基板的上表面上；连接部件，该连接部件用于连接基板和电场敏感芯片；封帽，该封帽与基板的上表面连接形成腔体结构，电场敏感芯片和连接部件设置在腔体结构内；以及增敏电极，该增敏电极设置在封帽的上表面上。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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