- 专利标题: 能够控制输出电流的供电装置及利用其的供电方法
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申请号: CN201710638057.8申请日: 2017-07-31
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公开(公告)号: CN108511311B公开(公告)日: 2020-08-07
- 发明人: 成原镛 , 丘根完 , 李秉国 , 柳承喜 , 林昌燮 , 文洪权
- 申请人: 株式会社新动力等离子体 , 成均馆大学校产学协力团
- 申请人地址: 韩国京畿道
- 专利权人: 株式会社新动力等离子体,成均馆大学校产学协力团
- 当前专利权人: 株式会社新动力等离子体,成均馆大学校产学协力团
- 当前专利权人地址: 韩国京畿道
- 代理机构: 北京路浩知识产权代理有限公司
- 代理商 张晶; 王朋飞
- 优先权: 10-2017-0024655 2017.02.24 KR
- 主分类号: H01J37/32
- IPC分类号: H01J37/32
摘要:
本发明涉及能够控制输出电流的供电装置及利用其的供电方法。本发明的能够控制输出电流供电装置用于向等离子体发生器内维持等离子体,能够控制输出电流供电装置包括:开关电源,包括整流器、逆变器及移相器;等离子体源,与所述开关电源相连接,用于在所述等离子体发生器内部生成等离子体;共振网络,连接在所述开关电源与所述等离子体源之间,包括共振电感器及共振电容器,所述共振电感器与初级绕组串联,所述共振电容器与所述等离子体源并联并与所述共振电感器串联;以及控制部,为了对向所述共振网络提供的电压电流进行相移而对所述开关电源进行控制。
公开/授权文献
- CN108511311A 能够控制输出电流的供电装置及利用其的供电方法 公开/授权日:2018-09-07