Invention Publication
- Patent Title: 优化的L型隧穿场效应晶体管及其制备方法
- Patent Title (English): Optimized L-type tunneling field effect transistor and preparation method thereof
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Application No.: CN201810398738.6Application Date: 2018-04-28
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Publication No.: CN108538911APublication Date: 2018-09-14
- Inventor: 李聪 , 闫志蕊 , 庄奕琪 , 赵小龙 , 郭嘉敏
- Applicant: 西安电子科技大学
- Applicant Address: 陕西省西安市雁塔区太白南路2号
- Assignee: 西安电子科技大学
- Current Assignee: 西安电子科技大学重庆集成电路创新研究院
- Current Assignee Address: 陕西省西安市雁塔区太白南路2号
- Agency: 陕西电子工业专利中心
- Agent 王品华; 朱红星
- Main IPC: H01L29/739
- IPC: H01L29/739 ; H01L21/336 ; H01L29/08

Abstract:
本发明公开了一种优化的L型隧穿场效应晶体管及其制备方法,主要解决现有器件开态电流低和双极效应严重的问题,其包括:SOI衬底(1)、隔离槽(2)、源区(3)、沟道区(4)、漏区(6)、栅极区(5)及导电层(7);隔离槽(2)位于SOI衬底(1)的两侧;源区(3)、沟道区(4)和漏区(6)位于SOI衬底的上表面;栅极区(5)位于沟道区(4)的上侧;源区(3)采用锗半导体材料,栅极区(5)采用异质栅介质结构,且靠近源区一侧采用高K栅介质材料,靠近漏区一侧采用低K栅介质材料;漏区(6)与栅极区(5)的右边界设有间隔S。本发明能有效抑制双极效应,提高了驱动电流,可用于大规模集成电路的制作。
Public/Granted literature
- CN108538911B 优化的L型隧穿场效应晶体管及其制备方法 Public/Granted day:2020-09-04
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