- 专利标题： 用于检测基板处理系统内的一个或多个环境条件的存在的系统和方法
-
申请号： CN201780008227.2申请日： 2017-01-25
-
公开(公告)号： CN108604565B公开(公告)日： 2024-01-12
- 发明人: 法里恩·阿德尼·哈贾 , 戴维·莫多
- 申请人： 应用材料公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚州
- 专利权人： 应用材料公司
- 当前专利权人： 应用材料公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
- 代理机构： 北京律诚同业知识产权代理有限公司
- 代理商 徐金国; 赵静
- 优先权： 62/287,429 2016.01.26 US
- 国际申请： PCT/US2017/014842 2017.01.25
- 国际公布： WO2017/132203 EN 2017.08.03
- 进入国家日期： 2018-07-25
- 主分类号： H01L21/677
- IPC分类号： H01L21/677 ; H01L21/67
摘要：
用于操作基板处理集群工具的方法，包括以下步骤：将基板存储盒定位在所述基板处理集群工具的工厂界面内，其中所述基板存储盒界定内部容积，所述内部容积被调整尺寸并被布置以接收一个或多个基板；和通过由与多个传感器操作地相关联的处理器执行储存指令，来感测所述内部容积内的多个条件中的一个条件的发生或感测所述内部容积内的所述多个条件中的一个条件的持续中的至少一者。响应于所述感测步骤，进行产生警报或执行涉及所述基板存储盒的替代操作中的至少一个步骤。(56)对比文件JP 2012114259 A,2012.06.14US 2006214794 A1,2006.09.28US 2002000184 A1,2002.01.03CN 101877321 A,2010.11.03US 2015000591 A1,2015.01.01TW 200927623 A,2009.07.01EP 1064503 A1,2001.01.03
公开/授权文献
- CN108604565A 用于检测基板处理系统内的一个或多个环境条件的存在的系统和方法 公开/授权日：2018-09-28
IPC分类:
