发明授权
摘要：
本发明提供一种基板处理装置，具备处理容器、销、密封壳体、密封构件以及排气口。处理容器具有开口。销穿过开口配置在处理容器的内部和处理容器的外部的范围内，且能在销的轴心方向上往复移动。密封壳体配置于处理容器的外部，在开口的周围与处理容器紧密接触，并且，容纳销的一部分。密封构件与密封壳体的内周面紧密接触，并且，以能够与销滑动的方式与销的外周面紧密接触。排气口与密封壳体连通连接。
公开/授权文献
- CN108630570A 基板处理装置 公开/授权日：2018-10-09