一种利用超快激光进行铣削微槽加工的方法
摘要:
一种利用超快激光进行铣削微槽加工的方法,通过利用包含迈克尔逊干涉仪的激光铣削槽系统,将单脉冲序列激光改为双脉冲序列激光,通过增加迈克尔逊干涉仪两干涉臂的光程差间接增大了双脉冲序列激光的脉冲延迟,增加了激光的时间延迟并间接增加了双脉冲激光的光程差,达到了减小铣削槽宽度的目的,同时通过计算获取精准的铣削槽宽度数值,削槽精度高。
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