发明授权
- 专利标题: 基于磁偏转的电推进羽流沉积效应测量装置
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申请号: CN201810446966.6申请日: 2018-05-11
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公开(公告)号: CN108645624B公开(公告)日: 2020-05-08
- 发明人: 商圣飞 , 向树红 , 姜利祥 , 孙继鹏 , 韩然 , 夏彦 , 欧学东 , 杨艳静
- 申请人: 北京卫星环境工程研究所
- 申请人地址: 北京市海淀区友谊路104号
- 专利权人: 北京卫星环境工程研究所
- 当前专利权人: 北京卫星环境工程研究所
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区友谊路104号
- 主分类号: G01M15/14
- IPC分类号: G01M15/14 ; G01M15/02
摘要:
本发明公开了一种基于磁偏转的电推进羽流沉积效应测量装置,包括QCM污染测量传感器,N极磁铁和S极磁铁,QCM安装支架和前挡板支架,以及两侧支板,其中三组平行设置的部件相互连接形成封闭的测量室,QCM污染测量传感器设置在安装支架上,两磁铁分布在测量室上下,所述前挡板中间设置有测量限制孔,该孔大小通过QCM测量有效面积和被测推力器视野连线与前挡板的交点确定,保证测量限制孔通过推力器来流的沉积污染物,带电粒子通过限制孔后,在磁场的作用下向外侧偏转,磁场不会改变粒子的能量,轰击在右侧支板上。本发明可以有效过滤到返流的CEX离子对测试基材的溅射作用,且采用磁偏转不会增加CEX的能量,同时在右侧支板安装石墨防溅射材料,大大减小二次溅射对污染测量的影响。
公开/授权文献
- CN108645624A 基于磁偏转的电推进羽流沉积效应测量装置 公开/授权日:2018-10-12