基于磁偏转的电推进羽流沉积效应测量装置
摘要:
本发明公开了一种基于磁偏转的电推进羽流沉积效应测量装置,包括QCM污染测量传感器,N极磁铁和S极磁铁,QCM安装支架和前挡板支架,以及两侧支板,其中三组平行设置的部件相互连接形成封闭的测量室,QCM污染测量传感器设置在安装支架上,两磁铁分布在测量室上下,所述前挡板中间设置有测量限制孔,该孔大小通过QCM测量有效面积和被测推力器视野连线与前挡板的交点确定,保证测量限制孔通过推力器来流的沉积污染物,带电粒子通过限制孔后,在磁场的作用下向外侧偏转,磁场不会改变粒子的能量,轰击在右侧支板上。本发明可以有效过滤到返流的CEX离子对测试基材的溅射作用,且采用磁偏转不会增加CEX的能量,同时在右侧支板安装石墨防溅射材料,大大减小二次溅射对污染测量的影响。
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