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发明公开
CN108700816A 散射测量中的偏振调谐 无效 - 撤回

散射测量中的偏振调谐
摘要：
一种方法包括：将辐射的照射束投影到衬底上的量测目标上；检测从衬底上的量测目标反射的辐射；和基于检测到的辐射来确定衬底上的特征的特性，其中，可控地选择检测到的辐射的偏振状态，以优化检测到的辐射的品质。
摘要（英）：

A method includes projecting an illumination beam of radiation onto a metrology target on a substrate, detecting radiation reflected from the metrology target on the substrate, and determining a characteristic of a feature on the substrate based on the detected radiation, wherein a polarization state of the detected radiation is controllably selected to optimize a quality of the detected radiation.

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