发明授权
- 专利标题: 一种半导体晶圆划片机
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申请号: CN201810532880.5申请日: 2018-05-29
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公开(公告)号: CN108705690B公开(公告)日: 2020-08-25
- 发明人: 李涵 , 潘万胜
- 申请人: 新昌县皇骐电子科技有限公司
- 申请人地址: 浙江省绍兴市新昌县羽林街道大明市村下街13号
- 专利权人: 新昌县皇骐电子科技有限公司
- 当前专利权人: 新昌县皇骐电子科技有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省绍兴市新昌县羽林街道大明市村下街13号
- 代理机构: 绍兴市寅越专利代理事务所
- 代理商 胡国平
- 主分类号: B28D5/00
- IPC分类号: B28D5/00 ; B28D7/04 ; H01L21/683 ; H01L21/67
摘要:
本发明属于半导体生产技术领域,具体的说是一种半导体晶圆划片机,包括工作台、吸盘、真空发生器和切割刀,工作台内设有真空发生器;吸盘安装在工作台上;吸盘用于吸附晶圆;吸盘上方设有切割刀;还包括调节装置;调节装置安装在吸盘的吸附孔上,调节装置用于调整吸附孔的吸附面积。本发明通过设置调节装置改变吸附孔的大小,避免吸附孔过小造成吸附力不足,造成切割损坏,影响晶圆的品质;通过在吸附孔一侧设置连通孔,连通孔内滑动安装着疏通块,当吸附孔内抽真空后,外界气压推动疏通块向吸附孔内移动,在晶圆切割完成后,疏通块在弹簧的作用下回复,缓解切割粉屑对吸附孔堵塞。
公开/授权文献
- CN108705690A 一种半导体晶圆划片机 公开/授权日:2018-10-26