切割芯片接合片、半导体芯片的制造方法及半导体装置的制造方法
摘要:
本发明提供一种切割芯片接合片(101),其在基材(11)上具备粘合剂层(12)、且在粘合剂层(12)上具备膜状粘接剂(13)而成,粘合剂层(12)的厚度为20μm~50μm,粘合剂层(12)的断裂伸长率为5%~50%。一种半导体芯片(9)的制造方法,该方法通过在该切割芯片接合片(101)的膜状粘接剂(13)的第1面(13a)上形成设置半导体晶片而成的中间结构体,使用切割刀在所述中间结构体上形成从所述半导体晶片的表面到达粘合剂层(12)但不到达基材(11)的切口(10),由此分割所述半导体晶片。
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