发明授权
- 专利标题： 一种制备薄膜的方法
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申请号： CN201710269837.X申请日： 2017-04-24
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公开(公告)号： CN108728812B公开(公告)日： 2020-07-14
- 发明人: 宋斌斌 , 郭凯 , 于涛 , 张传升 , 左宁 , 李新连 , 赵树利
- 申请人： 国家能源投资集团有限责任公司 , 北京低碳清洁能源研究院
- 申请人地址： 北京市东城区安定门西滨河路22号
- 专利权人： 国家能源投资集团有限责任公司,北京低碳清洁能源研究院
- 当前专利权人： 国家能源投资集团有限责任公司,北京低碳清洁能源研究院
- 当前专利权人地址： 北京市东城区安定门西滨河路22号
- 代理机构： 北京润平知识产权代理有限公司
- 代理商 王崇
- 主分类号： C23C14/54
- IPC分类号： C23C14/54 ; C23C14/18 ; C23C14/34
摘要：
本申请公开了一种薄膜的光学参数与制备工艺参数对应关系的确定方法，用于解决现有技术中不能定量地确定各层薄膜的致密度等性质的问题，包括：在多个预定制备工艺参数下分别制备薄膜；确定所述多个预定制备工艺参数下制备的各薄膜的光学参数，得到所述薄膜的光学参数与制备工艺参数对应关系，以便根据所述对应关系制备满足制备需求的薄膜。本申请还公开了一种制备薄膜的方法。
公开/授权文献
- CN108728812A 一种制备薄膜的方法 公开/授权日：2018-11-02
IPC分类:
