本发明提供一种具有能够配置在小的空间中的多个线圈的滤波器装置和等离子体处理装置。滤波器装置具备多个线圈和多个电容器。多个线圈构成多个线圈组。多个线圈组各自包括两个以上的线圈。在多个线圈组的各个线圈组中，两个以上的线圈设置为：各个线圈的卷绕部绕中心轴线螺旋状地延伸，且各个线圈的单匝线圈沿着中心轴线所延伸的轴线方向依次重复地排列。多个线圈组相对于中心轴线同轴地设置。多个线圈组中的任意一个线圈组的两个以上的线圈各自的单匝线圈间的间距比多个线圈组中的设置于该一个线圈组的内侧的线圈组的两个以上的线圈各自的单匝线圈间的间距大。