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CN108754429A 一种蒸发源 失效 - 权利终止

一种蒸发源
摘要:
本发明提供一种蒸发源,涉及蒸镀技术领域,用于改善现有技术中因蒸发源漏出的热量过高,导致掩膜板受热变形的问题。蒸发源,包括坩埚和用于产生热辐射的加热器,所述坩埚包括坩埚本体和设置在所述坩埚本体顶面的喷嘴,除所述坩埚本体的顶面侧外,所述坩埚本体的其余侧中的至少一侧设置有调热组件;所述调热组件用于使所述调热组件与所述坩埚本体之间的热辐射对流;其中,所述调热组件与所述坩埚本体之间具有间隙。
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