Invention Grant
- Patent Title: 一种激光波长精密测量方法
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Application No.: CN201810387517.9Application Date: 2018-04-26
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Publication No.: CN108760057BPublication Date: 2019-12-20
- Inventor: 刘涛 , 刘强 , 杨树明 , 刘康 , 王一鸣 , 田博 , 蒋庄德
- Applicant: 西安交通大学
- Applicant Address: 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号
- Assignee: 西安交通大学
- Current Assignee: 西安交通大学
- Current Assignee Address: 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号
- Agency: 西安智大知识产权代理事务所
- Agent 段俊涛
- Main IPC: G01J9/02
- IPC: G01J9/02

Abstract:
本发明公开了一种激光波长精密测量方法,属于光学精密测量技术领域。利用大数值孔径菲涅尔波带片(FZP),采用矢量角谱理论计算照明波长为λi的线偏振光垂直照明FZP时对应的轴向强度点扩散函数,根据峰值获得焦距zp,改变λi重新计算得到焦距zp,利用线性相关系数评价(λi,zp)相关性,截取线性区间,并利用线性最小二乘拟合法得到线性测量曲线;用该FZP直接聚焦待测激光光束,通过压电陶瓷纳米位移台轴向步进扫描点探测器,测得轴向强度点扩散函数分布,用质心法得到实际焦距,利用线性测量曲线计算求得激光波长。本发明方法简单,成本低,测量波长适应范围广,适用于激光波长的低成本精密测量。
Public/Granted literature
- CN108760057A 一种激光波长精密测量方法 Public/Granted day:2018-11-06
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