发明授权
摘要:
本发明公开了一种激光波长精密测量方法,属于光学精密测量技术领域。利用大数值孔径菲涅尔波带片(FZP),采用矢量角谱理论计算照明波长为λi的线偏振光垂直照明FZP时对应的轴向强度点扩散函数,根据峰值获得焦距zp,改变λi重新计算得到焦距zp,利用线性相关系数评价(λi,zp)相关性,截取线性区间,并利用线性最小二乘拟合法得到线性测量曲线;用该FZP直接聚焦待测激光光束,通过压电陶瓷纳米位移台轴向步进扫描点探测器,测得轴向强度点扩散函数分布,用质心法得到实际焦距,利用线性测量曲线计算求得激光波长。本发明方法简单,成本低,测量波长适应范围广,适用于激光波长的低成本精密测量。
公开/授权文献
- CN108760057A 一种激光波长精密测量方法 公开/授权日:2018-11-06