发明授权
CN108767116B 一种自驱动光电探测器及其制备方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种自驱动光电探测器及其制备方法
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申请号: CN201810574911.3申请日: 2018-06-06
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公开(公告)号: CN108767116B公开(公告)日: 2020-07-03
- 发明人: 陈心满 , 张晓楠 , 蒋治国 , 章勇
- 申请人: 华南师范大学
- 申请人地址: 广东省广州市天河区中山大道西55号华南师范大学光电子材料与技术研究所
- 专利权人: 华南师范大学
- 当前专利权人: 华南师范大学
- 当前专利权人地址: 广东省广州市天河区中山大道西55号华南师范大学光电子材料与技术研究所
- 代理机构: 广州市华学知识产权代理有限公司
- 代理商 李斌
- 主分类号: H01L51/42
- IPC分类号: H01L51/42 ; H01L51/48
摘要:
本发明涉及一种自驱动光电探测器及其制备方法。该光电探测器的特征由绝缘衬底、导电层、高介电常数层、钙钛矿量子点层、叉指电极组成。其制备方法,包括以下步骤:钙钛矿量子点的制备;沉积衬底表面电极;沉积高介电常数层;沉积量子点;采用溅射法制备叉指电极。采用电沉积的方式将量子点转移至衬底上,形成了具有多孔堆积状的钙钛矿量子点结构层,可实现对光的多次吸收。得到的自驱动光电探测器具有响应速度快、灵敏度高、柔性可弯曲的特点。
公开/授权文献
- CN108767116A 一种自驱动光电探测器及其制备方法 公开/授权日:2018-11-06
IPC分类: