一种自驱动光电探测器及其制备方法
摘要:
本发明涉及一种自驱动光电探测器及其制备方法。该光电探测器的特征由绝缘衬底、导电层、高介电常数层、钙钛矿量子点层、叉指电极组成。其制备方法,包括以下步骤:钙钛矿量子点的制备;沉积衬底表面电极;沉积高介电常数层;沉积量子点;采用溅射法制备叉指电极。采用电沉积的方式将量子点转移至衬底上,形成了具有多孔堆积状的钙钛矿量子点结构层,可实现对光的多次吸收。得到的自驱动光电探测器具有响应速度快、灵敏度高、柔性可弯曲的特点。
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