发明授权
- 专利标题： 激光退火装置
-
申请号： CN201680081336.2申请日： 2016-03-24
-
公开(公告)号： CN108780744B公开(公告)日： 2023-07-14
- 发明人: 池上浩 , 大久保智幸 , 若林理
- 申请人： 国立大学法人九州大学 , 极光先进雷射株式会社
- 申请人地址： 日本福冈县;
- 专利权人： 国立大学法人九州大学,极光先进雷射株式会社
- 当前专利权人： 国立大学法人九州大学,极光先进雷射株式会社
- 当前专利权人地址： 日本福冈县;
- 代理机构： 北京三友知识产权代理有限公司
- 代理商 李辉; 黄纶伟
- 国际申请： PCT/JP2016/059339 2016.03.24
- 国际公布： WO2017/163357 JA 2017.09.28
- 进入国家日期： 2018-08-08
- 主分类号： H01L21/268
- IPC分类号： H01L21/268 ; H01L21/20
摘要：
激光退火装置具备：CW激光装置，其输出对非晶硅进行预热的CW激光，该CW激光是基于连续振荡的激光；脉冲激光装置，其对已被进行了预热的非晶硅输出脉冲激光；光学系统，其将CW激光和脉冲激光引导至非晶硅；以及控制部，其控制CW激光的照射能量密度，以便将非晶硅预热至低于熔点的规定的目标温度，并且控制脉冲激光的注量和脉冲数中的至少一方，以使被进行了预热的非晶硅结晶。
公开/授权文献
- CN108780744A 激光退火装置 公开/授权日：2018-11-09
IPC分类:
