发明公开
- 专利标题: 多波长分布反馈半导体激光器阵列及制备方法
- 专利标题(英): Multi-wavelength DFB (distributed feedback) semiconductor laser array and preparation method
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申请号: CN201810714759.4申请日: 2018-06-29
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公开(公告)号: CN108808442A公开(公告)日: 2018-11-13
- 发明人: 王健 , 王雅琼 , 孙长征 , 熊兵 , 罗毅 , 郝智彪 , 韩彦军 , 汪莱 , 李洪涛
- 申请人: 清华大学
- 申请人地址: 北京市海淀区清华园
- 专利权人: 清华大学
- 当前专利权人: 清华大学
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区清华园
- 代理机构: 北京清亦华知识产权代理事务所
- 代理商 赵天月
- 主分类号: H01S5/12
- IPC分类号: H01S5/12 ; H01S5/10 ; H01S5/40
摘要:
本发明公开了一种多波长分布反馈半导体激光器阵列及制备方法,其中,多波长分布反馈半导体激光器阵列包括:光栅、波导和输出光腔面,其中,光栅为侧向耦合表面光栅,波导为脊波导,腔面为刻蚀形成的腔面。该多波长分布反馈半导体激光器阵列可以有效地抑制FP纵模的干扰,具有制备方式简单、成本低、适用性广以及波长精确控制的优点。
公开/授权文献
- CN108808442B 多波长分布反馈半导体激光器阵列及制备方法 公开/授权日:2023-11-10