多波长分布反馈半导体激光器阵列及制备方法
摘要:
本发明公开了一种多波长分布反馈半导体激光器阵列及制备方法,其中,多波长分布反馈半导体激光器阵列包括:光栅、波导和输出光腔面,其中,光栅为侧向耦合表面光栅,波导为脊波导,腔面为刻蚀形成的腔面。该多波长分布反馈半导体激光器阵列可以有效地抑制FP纵模的干扰,具有制备方式简单、成本低、适用性广以及波长精确控制的优点。
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