发明公开
- 专利标题: 随机激光清洗装置与方法
- 专利标题(英): Random laser cleaning device and method
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申请号: CN201810984404.7申请日: 2018-08-27
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公开(公告)号: CN108816964A公开(公告)日: 2018-11-16
- 发明人: 林学春 , 赵树森 , 张志研 , 王奕博 , 李达 , 梁浩 , 刘燕楠 , 马文浩
- 申请人: 中国科学院半导体研究所
- 申请人地址: 北京市海淀区清华东路甲35号
- 专利权人: 中国科学院半导体研究所
- 当前专利权人: 中国科学院半导体研究所
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区清华东路甲35号
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 张宇园
- 主分类号: B08B7/00
- IPC分类号: B08B7/00 ; B08B13/00
摘要:
本发明公开了一种随机激光清洗装置与方法,该装置包括:一激光器,该激光器中存在声光调Q并与声光调Q驱动电源相连,还存在激光模块并与激光模块驱动电源相连,同时激光器与一水冷机相连,用于激光器中激光模块、声光调Q和镜片的冷却;一激光清洗头,通过一传能光纤与激光器相连;一执行机构,激光清洗头安装在该执行机构上,用于控制激光清洗头的运动路径;一执行机构伺服控制系统,与执行机构相连,用于控制执行机构实现运动;一随机信号发生器,连接执行机构伺服控制系统与声光调Q驱动电源,控制激光清洗过程。通过本技术方案,可实现清洗后的工件表面无规则清洗痕迹,表面均匀,美观度较传统激光清洗高,大大提高激光清洗的实用性。
公开/授权文献
- CN108816964B 随机激光清洗装置与方法 公开/授权日:2020-10-30