发明授权
- 专利标题: 组合式环境压力和声学MEMS传感器
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申请号: CN201810388728.4申请日: 2018-04-27
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公开(公告)号: CN108827449B公开(公告)日: 2021-08-31
- 发明人: N·D·伊万斯 , J·S·艾伽什 , G·B·恩德特
- 申请人: 苹果公司
- 申请人地址: 美国加利福尼亚
- 专利权人: 苹果公司
- 当前专利权人: 苹果公司
- 当前专利权人地址: 美国加利福尼亚
- 代理机构: 中国贸促会专利商标事务所有限公司
- 代理商 边海梅
- 优先权: 62/492,821 20170501 US 15/921,588 20180314 US
- 主分类号: G01H11/06
- IPC分类号: G01H11/06 ; G01H11/08 ; G01L9/06 ; G01L9/12
摘要:
本发明题为:“组合式环境压力和声学MEMS传感器”。本发明公开了一种微机电系统(MEMS)环境压力和声学传感器,该MEMS环境压力和声学传感器包括:具有壳体壁的壳体,该壳体限定内部腔室和至该内部腔室的声学输入开口;移动结构,该移动结构定位在内部腔室内并且以声学方式耦接到声学输入开口。该移动结构具有能够响应于声压输入而移动的声学感测部分和能够响应于环境压力输入而移动的环境压力感测部分。该传感器还包括电路,该电路电耦接到移动结构并且是可操作的以基于移动结构的移动来确定声学输出和环境压力输出。
公开/授权文献
- CN108827449A 组合式环境压力和声学MEMS传感器 公开/授权日:2018-11-16