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公开(公告)号：CN115371831B
公开(公告)日：2025-03-07
申请号：CN202210819511.0
申请日：2022-07-12
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种基于离子材料的温度‑压力自解耦多模态柔性传感器柔性电极阵列与粘合层层叠布置，粘合层中嵌装离子凝胶阵列；结构化离子凝胶薄层、导电层和结构化柔性基底均设置有凸起结构阵列并依次层叠布置，凸起结构阵列与离子凝胶阵列之间相对接触布置导电层与信号输出接口电连接，离子凝胶阵列的下表面与结构化离子凝胶薄层接触；柔性电极阵列、离子凝胶阵列、结构化离子凝胶薄层和导电层构成电容式压力传感器，柔性电极阵列和离子凝胶阵列和构成电阻式温度传感器。本发明可同时检测温度、压力和接近三种感知模态，温度和接近感知模态通过压力感知模态中的部分结构实现，集成度高，空间紧凑。
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公开(公告)号：CN119492462A
公开(公告)日：2025-02-21
申请号：CN202311050488.4
申请日：2023-08-18
Applicant: 武汉楚兴技术有限公司
Inventor： 李鹏飞
Abstract: 本公开提供了一种压力传感器及其制备方法、半导体加工设备及其监测方法，涉及半导体加工设备技术领域，旨在解决半导体加工设备制备得到的半导体器件存在制作良率低的问题。压力传感器包括电容、第一绝缘层和第一电感线圈。电容包括相对设置的第一极板和第二极板。第一极板和第二极板之间存在压力谐振腔。第一绝缘层至少部分位于第二极板远离第一极板的一侧。第一电感线圈位于第一绝缘层远离第二极板的一侧。第一电感线圈和电容串联，共同形成压力感测回路。压力感测回路中谐振信号的参数用于表征第一极板远离第二极板的一侧表面受到的压力值。上述压力传感器应用于半导体加工设备中，以提高半导体器件的制作良率。
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公开(公告)号：CN119469482A
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202411627558.2
申请日：2024-11-14
Applicant: 中航电测仪器(西安)有限公司
Abstract: 本发明公开了一种基于电容谐振的压力传感器及方法，包括控制基板和感应基板；控制基板位于电容式应变片顶部，感应基板底部设置有受力基板，所述控制基板上包括至少两个点构成的点阵；所述感应基板上包括电容式应变片；在所述控制基板外设置有控制器，控制器与点阵中的各个点相连接。不需要外部输入激励信号，提高了压力传感器测量的灵敏度，进而适应于更复杂的应用场景。
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公开(公告)号：CN118854864B
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202411345735.8
申请日：2024-09-26
Applicant: 宁波市天庆建设有限公司
IPC: E02B13/02 , E02B5/08 , G01F23/263 , G01L9/12
Abstract: 本发明涉及调节闸门技术领域，具体涉及一种农田灌溉水渠用闸门。该闸门包括闸门机构、过滤组件和过滤调节模组，过滤调节模组包括数据采集模块，调节分析模块和控制模块；数据采集模块用于采集过滤组件前后的滤前电容值和滤后电容值，并传输至调节分析模块；调节分析模块用于通过过滤组件前后的电容值的差确定过滤平衡度，并结合滤前电容值变化确定反映上游的水流压力表征度，确定过滤孔洞调整系数传输至控制模块控制闸门机构和过滤组件。本发明考虑过滤速率变化和滤前水流压力，综合分析自适应调控过滤孔洞大小，提高闸门过滤的高效安全程度。
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公开(公告)号：CN119413324A
公开(公告)日：2025-02-11
申请号：CN202411543786.1
申请日：2024-10-31
Applicant: 维沃移动通信有限公司
IPC: G01L1/14 , G01L9/12 , G06F3/044 , G06F3/0354
Abstract: 本申请公开了一种压力检测装置和电子设备，属于电子设备技术领域。其中，压力检测装置，包括：柔性电路板，柔性电路板包括走线层和触控层，其中，触控层设置于走线层上，触控层与走线层电连接；电磁干扰薄膜层，设置于柔性电路板，电磁干扰薄膜层与走线层电连接；弹性填充层，设置于柔性电路板；接地层，设置于弹性填充层，且弹性填充层位于接地层与电磁干扰薄膜层之间。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119413323A
公开(公告)日：2025-02-11
申请号：CN202411444888.8
申请日：2024-10-16
Applicant: 南湖脑机交叉研究院
Abstract: 本发明公开了一种具有微纳阵列结构的柔性电容式压力传感器，包括由上至下依次层叠设置的第一电极层、柔性电介质层、第二电极层、柔性薄膜层，所述柔性薄膜层具有微纳阵列结构。本发明通过构建微纳结构，提高了压力传感器的灵敏度与检测范围，具有良好的稳定性和可重复性。本发明还公开了上述柔性电容式压力传感器的制备方法，通过调制电晕电场处理制备具有微纳阵列结构的柔性薄膜层，无需额外制作微纳结构模板，工艺简单，成本低廉，可实现批量制备。
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公开(公告)号：CN119374778A
公开(公告)日：2025-01-28
申请号：CN202411628471.7
申请日：2024-11-14
Applicant: 兰州空间技术物理研究所
Abstract: 本发明涉及一种减小感压膜片表面污染的电容压力传感器，该电容压力传感器包括螺旋柱体；螺旋柱体可拆卸地安装于测量腔进气口内；在测量腔进气口与螺旋柱体之间形成螺旋进气通道。上述电容压力传感器通过在测量腔进气口内设置螺旋柱体，被测量气体沿螺旋柱体旋转后进入测量腔体后再与感压膜片接触，使得被测量气体首先通过螺旋柱体，并与其表面发生接触和颗粒附着并凝结在其表面，因此减小了传统电容压力传感器在测量有可凝结挥发物气体时其污染物大量凝结于感压膜片表面的缺点，显著提升了电容压力传感器的测量及计量特性，延长了使用寿命。
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公开(公告)号：CN119372624A
公开(公告)日：2025-01-28
申请号：CN202411497570.6
申请日：2024-10-24
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: C23C16/44 , C23C16/455 , C23C16/458 , G01L21/00 , G01L9/12 , G01L19/06 , G01L19/00
Abstract: 本申请公开了一种沉积模块及电容式薄膜真空规、工装，本方案包括支撑环和多层沉积板，其中，支撑环能够安装在测试口，具有进气端和出气端；多层沉积板沿支撑环的轴向布置在支撑环内部，相邻的沉积板之间形成夹层，且每个沉积板设置有沉积孔。上述沉积模块使用时，可安装于电容式薄膜真空规的测试口处，由于该沉积模块包括多层沉积板，工艺气体在进入至测试口之前，首先在沉积板以及夹层内相互碰撞对工艺过程及腐蚀形成的产物进行有效阻挡，降低腐蚀性及沉积，从而减少了对电容式薄膜真空规测量的精度、灵敏性和稳定性的影响，延长电容式薄膜真空规使用寿命。
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公开(公告)号：CN118294044B
公开(公告)日：2025-01-03
申请号：CN202410499485.7
申请日：2024-04-24
Applicant: 大连海事大学
Abstract: 本发明公开了一种基于三维结构电极的离子电容式压力传感器及其制备方法，传感器包括由上至下依次设置的第一电极、弹性微结构以及第二电极；所述第一电极和第二电极均为三维柔性电极，所述三维柔性电极由导电纤维采用非紧致的方式交织堆叠形成，所述导电纤维在三维柔性电极内部构建了一个位于具有三维结构的导电路径；所述弹性微结构采用聚氨酯海绵，所述弹性微结构的上、下表面上以非均匀的方式分布有能够容纳部分导电纤维深入的孔隙，孔隙间互相交织连通。本发明采用柔性三维结构作为电极，显著提高电极与介电离子层之间形成的离子双电层电容数量，提高了电容信号的振幅，从而提高了电容式压力传感器的灵敏度。
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公开(公告)号：CN119197864A
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202411409458.2
申请日：2024-10-10
Applicant: 中国南方电网有限责任公司
Abstract: 本申请涉及一种MEMS电容式压力传感器及其制备方法，涉及微电子技术领域；压力传感器包括导电衬底；沿导电衬底所在平面方向上，压力传感器包括空腔区和环绕空腔区的边缘区；第一电极层，形成于导电衬底的表面，位于空腔区；第一电极层包括多个绝缘设置的环形第一电极；压力应变膜片，位于第一电极层远离导电衬底的一侧；第二电极层，形成于压力应变膜片朝向第一电极层的一侧，位于空腔区；第二电极层包括多个绝缘设置的环形第二电极；绝缘层，形成于导电衬底和压力应变膜片之间，位于边缘区；沿导电衬底所在平面中的中心点指向边缘区的方向上，第一电极和第二电极交替且间隔设置；有利于避免压力传感器使用时第一电极和第二电极误接触的问题。
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