混合集成型双谱段多光谱短波红外探测器
Abstract:
本发明提出了一种混合集成型双谱段多光谱短波红外探测器,沿光线入射的方向依次设置有:MEMS光学滤波或干涉芯片,在MEMS光学滤波或干涉芯片之下设置有双谱段多光谱红外探测器单元或阵列,在双谱段多光谱红外探测器单元或阵列之下设置有信号处理芯片或读出电路芯片,信号处理芯片或读出电路芯片完成探测器信号输出和工作点配置,并实现MEMS芯片电源输入调制。本发明实现了灵巧化的单片式宽谱段多光谱探测,而且,这种多光谱探测的光谱分辨率和调制灵活性远远优于其它片上集成方式;信号处理芯片或读出电路芯片与多光谱探测器的混合集成,既可实现产品芯片化,利于发展便携式光谱传感应用,而且可制作多光谱焦平面图像传感器,满足低成本、灵巧型成像光谱仪的应用需求。
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