本发明涉及一种基于激光技术的柔性薄膜晶体管及其制备方法。本发明在柔性衬底基片上增加光学增反射膜层。同时在制备完有源层后，利用飞秒/皮秒激光辐照退火和刻蚀消融实现图形化和器件的独立，增反射膜层能有效回收利用反射激光能量，提高激光能量的使用效率，在低温下高效完成前驱体到氧化物的转变，兼有阻隔水汽、氧对有源层影响的功能，快速低温实现柔性薄膜晶体管制备。有源层和绝缘层均可采用卷对卷或印刷方式制备，工艺简单、快速，而氧化物有源层可以采用飞秒/皮秒激光刻蚀和辐照退火方式实现半导体功能，其操作快速准确，高效率，高度可重复性，获得器件的尺寸较小，器件性能一致性好，有利于节约成本及大面积生产。