本发明提供一种耐高温SiC纤维的制备方法，包括以下步骤：1)将无机SiC纤维经过化学处理和干燥处理得到预处理纤维；2)将预处理纤维在惰性气氛下高温烧成得到耐高温SiC纤维，其中所用的无机SiC纤维通过将无氧不熔化聚碳硅烷纤维在氢气气氛中从室温加热到1000℃得到，其氧含量低于2wt％，纤维直径小于15μm，纤维碳硅原子比为0.80～1.40，拉伸强度大于2.2GPa。本发明制备的SiC纤维表层氧含量低于5at％，拉伸强度可达2.93GPa，纤维在惰性气氛下可耐2000℃高温。